ICS 31.550 CCS L 95 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11829.1—2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for crystallinesiliconphotovoltaiccells-Part1:TubularPECVDequipment 2022-10-20发布 2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11829.1—2022 次目前言范围规范性引用文件 2 3 术语和定义型号命名工作环境和工作条件 5 要求 6 3 检验方法. 8 检验规则 10 9 标志、包装 11

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备

文档预览

中文文档 20 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共20页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备第 1 页

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备第 2 页

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备第 3 页

下载文档到电脑，方便使用

赞助2元下载

本文档由人生无常于 2025-03-30 10:37:38上传分享

下载原文档(5.5 MB)

友情链接

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备 第1部分 管式PECVD设备

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备