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ICS31.200 L55 中华人民共和国国家标准 GB/T28274—2012 硅 基MEMS制造技术 版图设计基本规则 Silicon-basedMEMSfabricationtechnology— Thebasicregulationoflayoutdesign 2012-05-11发布 2012-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上 海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。 本标准主要起草人:张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇。 ⅠGB/T28274—2012

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