GB-T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

ICS29.045 H80 中华人民共和国国家标准 GB/T30453—2013 硅材料原生缺陷图谱 Metallographscollectionfororiginaldefectsofcrystallinesilicon 2013-12-31发布 2014-10-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布目次前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 硅多晶结构的不完整性 1 ………………………………………………………………………………… 5 硅单晶晶体缺陷 4 ………………………………………………………………………………………… 6 硅片加工缺陷 9 …………………………………………………………………………………………… 7 硅外延片缺陷 11 ………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性附录) 氢致缺陷图 76 ……………………………………………………………………… 索引 79 ………………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T30453—2013

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本文档由人生无常于 2025-02-20 13:20:44上传分享