ICS29.045 H80 中华人民共和国国家标准 GB/T29507—2013 硅 片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 Testmethodformeasuringflatness,thicknessandtotalthicknessvariation onsiliconwafers—Automatednon-contactscanning 2013-05-09发布 2014-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司。 本标准主要起草人:徐新华、王珍、孙燕、曹孜。 ⅠGB/T29507—2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 1 范围 本标准规定了直径不小于50mm,厚度不小于100μm的切割、研磨、腐蚀、抛光、外延或其他表面 状态的硅片平整度、厚度及总厚度变化的测试。 本标准为非破坏性、无接触的自动扫描测试方法,适用于洁净、干燥硅片的平整度和厚度测试,且不 受硅片的厚度变化、表面状态和硅片形状的影响。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注明日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T14264 半导体材料术语 3 术语和定义 3.1 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。 3.2 硅片平整度参数的缩写及定义见表1。 表1 硅片平整度参数的缩写及定义 缩写测试 方法基准面基准面 基准面构成 区域测试参数 GBIR (globalflatnessbacksidereferenceplane idealrange)总的背表面 理想背表面质量 合格区TIR GF3R (globalflatnessfrontsidereferenceplane 3pointsrange)总的正表面 三点构成的基准面 TIR GF3D (globalflatnessfrontsidereference3 pointsdeviation)总的正表面 三点构成的基准面 FPD GFLR (globalflatnessfrontsidereferenceplane least-squaresrange)总的正表面最小二乘法构成的基准面质量 合格区TIR 1GB/T29507—2013 表1(续) 缩写测试 方法基准面基准面 基准面构成 区域测试参数 GFLD (globalflatnessfrontleastsquares deviation)总的正表面最小二乘法构成的基准面质量 合格区FPD SBIR (siteflatnessbacksidereferenceplane globalidealrange)局部背表面 理想背表面质量 合格区TIR SBID (siteflatnessbacksidereferenceplane globalidealdeviation)局部背表面 理想背表面质量 合格区FPD SF3R (siteflatnessglobalfrontside referenceplane3pointsrange)局部正表面 三点构成的基准面 TIR SF3D (siteflatnessglobalfrontside referenceplane3pointsdeviation)局部正表面 三点构成的基准面 FPD SFLR (siteflatnessglobalfrontsidereference planeleastsquaresrange)局部正表面最小二乘法构成的基准面质量 合格区TIR SFLD (siteflatnessglobalfrontsidereference planeleastsquaresdeviation)局部正表面最小二乘法构成的基准面质量 合格区FPD SFQR (siteflatnessfrontsidereferenceplane siteleastsquaresrange)局部正表面最小二乘法构成的基准面局部 区域TIR SFQD (siteflatnessfrontsidereferenceplane leastsquaresdeviation)局部正表面最小二乘法构成的基准面局部 区域FPD SFSR (siteflatnessfrontsub-sidereference planesiteleastsquaresrange)局部正表面最小二乘法构成的基准面次局部 区域TIR SFSD (siteflatnessfrontsub-sidereference planeleastsquaresdeviation)局部正表面最小二乘法构成的基准面次局部 区域FPD 2GB/T29507—2013