(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221694287.9 (22)申请日 2022.07.01 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区唯亭 港浪路3号 (72)发明人 吴廷斌　张学强　张建伟　罗银兵　 顾正亚　 (51)Int.Cl. F26B 21/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种吸盘带有风刀的布局组件 (57)摘要 本实用新型属于硅片生产设备领域， 具体的 说是一种吸盘带有风刀的布局组件， 包括固定 架、 固定杆、 第一风刀板、 第二风刀板和固定组 件； 所述固定杆转动连接在固定架侧面； 所述第 一风刀板固接在固定杆底部； 所述第二风刀板栓 接在第一风刀板侧面， 通过设置连接管、 管体、 固 定环、 支块、 固定钩、 转动环、 滑块、 弧形块和驱动 单元， 在使用时， 依靠驱动组件带动固定环进行 旋转， 从而带动固定钩进行旋转， 进而使固定钩 挤压固定环， 使连接管与密封槽接触， 连接管与 密封槽过盈配合， 以此对其连接处进行密封， 从 而提高密封效果， 使 得气流不易从风管的连接处 泄漏出来， 进 而降低对吹出的风力的影响。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217953040 U 2022.12.02 CN 217953040 U 1.一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 包括固定架(11)、 固定杆(12)、 第一风 刀板(13)、 第二风刀板(14)和固定组件； 所述固定杆(12)转动连接在固定架(11)侧面； 所述 第一风刀板(13)固接在固定杆(12)底部； 所述第二风刀板(14)栓接在第一风刀板(13)侧 面； 所述第一风刀板(13)上固接有管体(16)、 所述管体(16)内开设有密封槽； 所述密封槽内 滑动连接有连接管(17)； 所述连接管(17)远离管体(16)的一侧固接有 固定环(18)； 所述固 定环(18)侧面固接有气管(15)； 所述固定组件设在第一 风刀板(13)侧面。 2.根据权利要求1所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述固定组件包 括支块(21)、 固定钩(22)和驱动单元； 一组所述支块(21)固接在第一风刀板(13)侧面； 所述 固定钩(22)转动连接在支块(21)上； 所述第一风刀板(13)靠近固定杆(12)的一侧开设有滑 槽； 所述滑槽内滑动连接有滑 块(23)； 所述滑 块(23)远离滑槽的一侧固接有转动环(24)； 所 述转动环(24)侧面固接有一组弧形块(27)； 所述驱动单 元设在第一 风刀板(13)上。 3.根据权利要求2所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述驱动单元包 括罩壳(31)和蜗杆(32)； 所述罩壳(31)固接在第一风刀板(13)靠近固定杆(12)的一侧； 所 述蜗杆(32)贯穿罩壳(31)壁体并与其转动 连接； 所述转动环(24)的表面固接有蜗轮(33)； 所述蜗轮(3 3)与蜗杆(32)互相啮合。 4.根据权利要求3所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述固定钩(22) 的转动连接处安装有 扭簧； 所述固定钩(22)与弧形块(27)对应位置处扣合滚动连接有滚珠 (41)。 5.根据权利要求4所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述密封槽远离 固定环(18)的一侧固接有第一橡胶圈(51)； 所述固定环(18)靠近第一风刀板(13)的一侧固 接有第二橡胶圈(52)； 所述管体(16)与第二橡胶圈(52)对应位置处开设有凹槽 。 6.根据权利要求5所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述罩壳(31)内 设有一组密封组件； 所述密封组件包括滑筒(61)和挤压单元； 一组所述滑筒(61)固接在罩 壳(31)远离第一风刀板(13)的一侧； 所述滑筒(61)顶部内侧壁上固接有胶水囊(63)； 所述 滑筒(61)顶部侧壁上固接有输液管(62)； 所述输液管(62)底端与密封槽侧壁固接； 所述挤 压单元设在滑筒(61)内。 7.根据权利要求6所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述挤压单元包 括推块(71)； 所述推块(71)滑动连接在滑筒(61)内； 所述推块(71)顶侧固接有刀片(72)； 所 述连接管(17)为圆台形 结构设计。 8.根据权利要求7所述的一种吸盘带有风刀的布局组件， 其特征在于： 所述管体(16)靠 近罩壳(31)的一端开设有排气孔(8)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217953040 U 2一种吸盘带有风刀的布局组件 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片生产设备 领域， 具体是一种吸盘带有风刀的布局组件。 背景技术 [0002]硅片是芯片生产用主 要材料， 芯片的 晶体管通过多道工序集成至 硅片上。 [0003]目前现有技术中， 硅片的加工过程中， 其会采用陶瓷吸盘将硅片进行吸附， 吸附完 成后通过风刀组件将硅片分开， 风刀组件主要通过高压气流吹动硅片， 使硅片分开， 风刀组 件主要用两个风刀板和气管构成， 风刀板上开设有出风槽 。 [0004]但是现有的风管和风刀板 的连接密封性较差， 在长期使用时， 其气流会从风管的 连接处泄漏出来， 进而影响吹出的风力； 因此， 针对上述问题提出一种吸盘带有风刀的布局 组件。 实用新型内容 [0005]为了弥补现有技术的不足， 解决现有的风管和风刀板 的连接密封性较差， 在长期 使用时， 其气流会从风管的连接处泄漏出来， 进而影响吹出的风力的问题， 本实用新型提出 一种吸盘带有风刀的布局组件。 [0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 本实用新型所述的一种吸盘带 有风刀的布局组件， 包括固定架、 固定杆、 第一风刀板、 第二风刀板和固定组件； 所述固定杆 转动连接在固定架侧 面； 所述第一风刀板固接在固定杆底部； 所述第二风刀板栓接在第一 风刀板侧面； 所述第一风刀板上固接有 管体、 所述管体内开设有密封槽； 所述密封槽内滑动 连接有连接管； 所述连接管远离管体的一侧固接有固定环； 所述固定环侧面固接有气管； 所 述固定组件设在第一风刀板侧 面， 通过设置多个固定钩进行按压固定环， 提高固定环与第 一风刀板的贴合度， 进 而提高密封效果。 [0007]优选的， 所述固定组件包括支块、 固定钩和驱动单元； 一组所述支块固接在第一风 刀板侧面； 所述固定钩转动连接在支 块上； 所述第一风刀板靠近固定杆的一侧开设有滑槽； 所述滑槽内滑动连接有滑块； 所述滑块远离滑槽的一侧固接有转动环； 所述转动环侧 面固 接有一组弧形块； 所述驱动单 元设在第一 风刀板上， 进行固定住连接管。 [0008]优选的， 所述驱动单元包括罩壳和蜗杆； 所述罩壳固接在第一风刀板靠近固定杆 的一侧； 所述蜗杆贯穿罩壳壁体并与其转动连接； 所述转动环的表 面固接有蜗 轮； 所述蜗 轮 与蜗杆互相啮合， 以此 可以带动转动环进行旋转。 [0009]优选的， 所述固定钩的转动连接处安装有扭簧； 所述固定钩与 弧形块对应位置处 扣合滚动连接有滚珠， 以此可以将弧形块与固定钩之间的滑动摩擦变为滚动摩擦， 从而减 小摩擦力。 [0010]优选的， 所述密封槽远离固定环的一侧固接有第一橡胶圈； 所述固定环靠近第一 风刀板的一侧固接有第二橡胶 圈； 所述管体与第二橡胶 圈对应位置处开设有凹槽， 依靠该 设置可以对其进行 再次密封， 进一 步提高密封效果。说　明　书 1/4 页 3 CN 217953040 U 3