(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123434597.5 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 唐山捷准芯测信息科技有限公司 地址 064100 河北省唐山市玉田县鑫兴电 子工业园内 （玉 遵西路西侧） (72)发明人 杨瑞鹏　卜丽飞　田晶悦　 其乐木格　 (74)专利代理 机构 北京国贝知识产权代理有限 公司 11698 专利代理师 尹晓强 (51)Int.Cl. B62B 3/00(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 晶圆载具运输车 (57)摘要 本实用新型提供一种晶圆载具运输车， 包 括： 运载基础框架， 包括底部框架、 固定框架、 一 组直立长杆和一组直立短杆， 所述底部框架与所 述固定框架平行， 所述一组直立长杆和所述一组 直立短杆分别与所述底部框架和所述固定框架 的转角节 点连接并且垂直于所述底部框架； 运载 台， 包括底板和侧板， 所述底板一边与所述运载 基础框架的所述一组直立短杆固定连接， 所述底 板的另一边与所述侧板的一边固定连接， 所述侧 板的另一边与所述运载基础框架的所述一组直 立长杆固定连接， 所述底板和所述侧板分别与所 述晶圆载具的底面和侧面紧密贴合； 本实用新型 的晶圆载具运输车能够防止晶圆在运输过程中 撞落、 破碎和静电吸尘， 是一种高效安全、 操作简 单的晶圆运输 工具。 权利要求书1页 说明书3页 附图9页 CN 217048654 U 2022.07.26 CN 217048654 U 1.一种晶圆载 具运输车， 其特 征在于， 包括： 运载基础框架， 包括底部框架、 固定框架、 一组直立长杆和一组直立短杆， 所述底部框 架与所述固定框架平行， 所述一组直立长杆和所述一组直立短杆分别与所述底部框架和所 述固定框架的转角节点连接并且垂直于所述底部框架， 所述底部框架的转角节点设置滑 轮； 运载台， 包括底板和侧板， 所述底板一边与所述运载基础框架 的所述一组直立短杆固 定连接， 所述底板的另一边与所述侧板的一边固定连接， 所述侧板的另一边与所述运载基 础框架的所述一组直立长杆固定连接， 所述底板和所述侧板分别与所述晶圆载具的底面和 侧面紧密贴合； 和 防静电网格帘， 安装在所述运载基础框架的所述一组直立长杆和所述一组直立短杆形 成的所有外 部平面。 2.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 所述底部框架的转角节点处安 装防撞角机构。 3.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 所述运载台的所述底板和所述 侧板形成的空间通过横断条分割为体积近似所述晶圆载 具的隔间。 4.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 根据运载需要多个所述运载台 平行地设置在所述 一组直立长杆和所述 一组直立短杆形成的空间内。 5.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 所述运载台形成的角度与 所述 晶圆载具底面与侧面形成的角度相同。 6.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 所述一组直立长杆形成的平面 与所述一组直立短杆形成的平面平行。 7.根据权利要求1所述的晶圆载具运输车， 其特征在于， 所述运载台的所述底板和所述 侧板的材 料是防滑材 料。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217048654 U 2晶圆载具运输 车 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆生产工艺的技 术领域， 具体涉及一种晶圆载 具运输车。 背景技术 [0002]晶圆是一种极高纯度的报道提经过拉晶、 切片等工序制 备的高精度材料， 同时因 其半导体的性质， 容易静电吸尘。 晶圆一般是放在晶舟等晶圆载具中通过特制的运输工具 运输到下一个生产车间。 传统的晶圆推车可以平稳运输， 但是不能防止晶圆载具之间左右 晃动， 从而晶圆载具会撞落到地面， 不能防止晶圆载具前后移动， 从而晶圆会破碎， 同时也 不能防止晶圆载 具在运输过程中裸露在空气中发生静电吸尘， 从而晶圆会被污染。 实用新型内容 [0003]本实用新型 是为了解决上述问题而完成的， 本实用新型的技 术方案为： [0004]一种晶圆载 具运输车， 包括： [0005]运载基础框架， 包括底部框架、 固定框架、 一组直立长杆和一组直立短杆， 底部框 架与固定框架平行， 一组直立长杆和一组直立短杆分别与底部框架和固定框架的转角节点 连接并且垂直于底部 框架， 底部 框架的转角节点设置滑轮； [0006]运载台， 包括底板和侧板， 底板一边与运载基础框架一组直立短杆固定连接， 底板 的另一边与侧板的一边固定连接， 侧板的另一边与运载基础框架一组直立长杆固定连接， 底板和侧板分别与晶圆载 具的底面和 侧面紧密贴合； 和 [0007]防静电网格帘， 安装在运载基础框架一组直立长杆和一组直立短杆形成的所有外 部平面。 [0008]根据本实用新型的实施例， 底部 框架的转角节点处安装防撞角机构。 [0009]根据本实用新型的实施例， 运载台 的底板和侧板形成的空间通过隔 断条分割为体 积近似晶圆载 具的隔间。 [0010]根据本实用新型的实施例， 根据运载需要多个运载台平行地设置在一组直立长杆 和一组直 立短杆形成的空间内。 [0011]根据本实用新型的实施例， 运载台形成的角度与晶圆载具底面与侧面形成的角度 相同。 [0012]根据本实用新型的实施例， 一组直立长杆形成的平面与一组直立短杆形成的平面 平行。 [0013]根据本实用新型的实施例， 运载台的底板和 侧板的材 料是防滑材 料。 [0014]本实用新型的晶圆载具运输车能够防止晶圆在运输过程中撞落、 破碎和静电吸 尘， 是一种高效安全、 操作简单的 晶圆运输 工具。 [0015]附图简要说明 [0016]图1是本实用新型晶圆载 具运输车的左视图； [0017]图2是本实用新型晶圆载 具运输车的后视图；说　明　书 1/3 页 3 CN 217048654 U 3