(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111629502.7 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 管维康　贾宇　张峰　张慧婷　 张旭辉　 (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 周耀君 (51)Int.Cl. G06Q 10/10(2012.01) G06Q 10/06(2012.01) G06Q 10/08(2012.01) G05B 19/418(2006.01) G06Q 50/04(2012.01) (54)发明名称 湿法清洗站点的机台群的调控方法及计算 机可读存 储介质 (57)摘要 本发明提供了一种湿法清洗站点的机台群 的调控方法， 包括： 建立预设时间内第i类产品的 作业量分配于机台群的第一约束条件； 建立在预 设时间内所有产品的可作业时间的第二约束条 件； 同时建立双目标函数， 并以第i类产品分配于 机台群中各机台的作业量为决策变量； 基于第一 约束条件以及第二约束条件获取在双目标函数 取最大值时的决策变量， 作为机台群的生产调度 方案。 本发明中， 通过建立与总作业量正相关且 与机台间作业量的变异系数负相关的双目标函 数， 并以双目标函数取最大值时所 获得的决策变 量作为湿法清洗机台群的调度湿法清洗站点的 机台群的调控 方法， 从而在提高湿 法清洗机台群 生产能力的同时均衡 机台群内机台间作业 量。 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 CN 114331357 A 2022.04.12 CN 114331357 A 1.一种湿法清洗站点的机台群的调控方法， 用于湿法清洗站点的机台群的生产调控， 其特征在于， 包括： 获取所述湿法清洗站点的第i类产品的堆货量、 最小目标产量以及所述机台群的机台 数量， 建立预设时间内所述第i类产品的作业 量分配于所述机台群的第一约束条件； 获取所述湿法清洗站点的所述第i类产品在第j机台的标准工时以及所述机台群的效 率指标， 建立在所述预设时间内所有产品的可作业时间的第二约束条件； 同时建立基于在预设时间内的所述机台群的总作业量以及机台间作业量的变异系数 的双目标函数， 所述双目标函数以所述第i类产品分配于所述机台群中各机台的作业量为 决策变量， 所述双目标函数与所述总作业量正相关， 且所述双目标函数与所述变异系 数负 相关； 基于所述第一约束条件以及所述第二约束条件获取在所述双目标函数取最大值时的 决策变量， 并以所述决策变量作为所述机台群的生产调度方案； 其中， i大于或等于1。 2.根据权利要求1所述的湿法清洗站点的机 台群的调控方法， 其特征在于， 所述双目标 函数y为： y＝y1‑A*y2； 其中， y1为所述总作业量， y2为所述变异系数， A为调整系数， A大于0， xij代表了第i类产 品分配在第j机台上的作业量作业量， x1j代表了第1类产品分配在第j机台上的作业量， xnm 代表了第n类产品分配在第m机台上的作业量， n为产品的数量， m为机台 的数量， 表示机台 作业量的平均值。 3.根据权利要求2所述的湿法清洗站点的机 台群的调控方法， 其特征在于， 所述调 整系 数A为10～10 00。 4.根据权利要求1所述的湿法清洗站点的机 台群的调控方法， 其特征在于， 所述第 一约 束条件包括： Wi≤xi1+xi2+…+xim≤Mi 其中， Wi为所述第i类产品的最小目标产量， Mi为所述第i类产品的堆货量， xij代表了第i 类产品分配在第j机台上的作业 量。 5.根据权利要求1所述的湿法清洗站点的机 台群的调控方法， 其特征在于， 所述第 二约 束条件包括： x1jPT1j+x2jPT2j+…+xijPTij≤m*T*B 其中， xij代表了第i类产品分配在第j机台上的作业量， P Tij为第i类产品在第j机台的标 准工时， m为机台数量， T为预设时间， B为机台群的效率指标。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的湿法清洗站点的机台群的调控方法， 其特征在 于， 第i+1类产品和所述第i类产品利用不同的工艺配方执行湿法清洗工艺， 所述工艺配方权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114331357 A 2包括清洗液的种类。 7.根据权利要求6所述的湿法清洗站点的机台群的调控方法， 其特征在于， 所述第i类 产品包括若干第i类子产品， 所述若干第i类子产品利用相同的工艺配方执行湿法清洗工 艺。 8.根据权利要求1至5中任一项所述的湿法清洗站点的机台群的调控方法， 其特征在 于， 以所述设定时间为周期求 解获得所述机台群的调度方案， 以动态监控所述机台群。 9.根据权利要求1至5中任一项所述的湿法清洗站点的机台群的调控方法， 其特征在 于， 基于所述第一约束条件以及、 所述第二约束条件以及所述双目标函数获得所述生产调 度方案无解时， 利用先进先 出的启发式规则设置所述 生产调度方案 。 10.一种计算机可读存储介质， 所述计算机可读存储介质存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求 1至9任一项 所述的一种湿法清洗站 点 的机台群的调控方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114331357 A 3