(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210215042.1 (22)申请日 2022.03.07 (71)申请人 睿励科学仪器 （上海） 有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区华佗路68号6 幢 (72)发明人 杨峰　毛宗钦　朱强铭　吕彤欣　 其他发明人请求 不公开姓名　 (74)专利代理 机构 北京启坤知识产权代理有限 公司 11655 专利代理师 李琛 (51)Int.Cl. G01N 21/59(2006.01) G01N 21/47(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种光学检测装置和检测方法 (57)摘要 本申请实施例的目的是提供一种光学检测 装置和检测方法。 本申请实施例的装置包括光学 组件、 真空腔组件和运动平台组件； 其中， 所述光 学组件包括光源装置、 反射镜、 反射镜调节架和 传感装置； 其中， 所述光学组件包括光源装置、 反 射镜、 反射镜调节架和传感装置； 其中， 所述运动 平台组件包括线性运动平台和薄膜 卡盘。 本申请 实施例具有以下优点： 能够提供高洁净度的检测 环境， 保证样品的高洁净度； 使用与薄膜实际使 用工况相同光源对其进行检测， 能够提升检测的 准确度。 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 CN 114778495 A 2022.07.22 CN 114778495 A 1.一种光学检测装置， 其特征在于， 所述光学检测装置包括光学组件、 真空腔组件和运 动平台组件； 其中， 所述光学组件包括光源装置、 反射镜、 反射镜调节架和传感装置； 所述光源用于 提供与薄膜实况使用相一致的光源； 所述反射镜用于将光线反射之后以特定角度投射至薄 膜的上表面； 所述传感装置用于检测光强； 其中， 所述真空腔组件包括腔室、 第一阀件、 干泵、 第二阀件、 分子泵、 隔离阀件、 第三阀 件和气源装置； 所述腔室用于提供各个器件的安装接口和高洁净 的密封环境； 所述第一阀 件用于控制 干泵与真空腔组件之间气路的通断； 所述干泵用于对腔室进行初步抽真空； 所 述分子泵、 第二阀件和隔离阀件均用于对腔室进一步抽真空； 第三阀件用于控制气源装置 与腔室之间气路的通断； 其中， 所述运动平台组件包括线性运动平台和薄膜卡盘， 所述线性运动平台用于带动 薄膜移动。 2.根据权利要求1所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述光学组件还包括半透半反 镜、 半透镜调节架和 参考传感器中的一个或多个； 所述半透半反镜用于将入射光线的部分 能量进行反射， 所述 参考传感器用于检测经半透半反镜反射后的光线的光强。 3.根据权利要求1或2所述的光学检测装置， 其特征在于， 反射镜调节架和半透镜调节 架为自动型或手动型。 4.根据权利要求1或2所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述传感装置包括反射传感 器和/或透射传感器。 5.根据权利要求1所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述真空腔组件包括一个或多个 视觉对准装置， 所述视 觉对准装置用于识别薄膜的初始位置 。 6.根据权利要求1所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述真空腔组件还包括过滤装 置， 所述过 滤装置用于对进气 气体进行 过滤。 7.根据权利要求1所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述真空腔组件还包括吸附装 置， 所述颗粒真空吸附装置用于吸附腔室中的颗粒。 8.根据权利要求1所述的光学检测装置， 其特征在于， 所述真空腔组件还包括气压监测 装置， 所述气压监测装置用于监测腔室内的气压 。 9.一种使用如权利要求1至8所述的光学检测装置进行光学检测的方法， 所述方法包 括： 通过使用线性 运动平台带动薄膜 移动， 完成薄膜的初始位置识别； 打开第三阀件及气源、 第一阀件和隔离阀件， 并关闭第二阀件； 启动干泵； 如果腔室内气压 达到第一阈值， 则关闭第一阀件， 令 干泵停止 工作， 并关闭隔离阀件； 打开第二阀件， 令分子泵开始工作； 如果腔室内气压 达到第二阈值， 则令光源进入真空腔， 并检测入射 光源质量。 10.根据权利要求9所述的方法， 其中， 检测入射 光源质量的步骤 包括： 读取一个或多个传感装置的数值， 作为第一 点检测值； 令线性运动平台带动薄膜移动一定距离， 检测并记录第二点检测值， 并不断重复该步 骤以此类 推， 直至完成所有检测点检测；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114778495 A 2关闭第二阀件并关阀光源， 待腔室气压 达到腔外气压， 则取 出薄膜， 以完成检测。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114778495 A 3