(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211009533.7 (22)申请日 2022.08.22 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机 械研究 所 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号 (72)发明人 嵇文超　顿爱欢　侯瑞　邵建达　 刘涛　杨扬　刘斌　徐学科　 (74)专利代理 机构 上海恒慧知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 31317 专利代理师 张宁展 (51)Int.Cl. B24B 29/02(2006.01) B24B 57/02(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 一种用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁 三位一体式装置及方法 (57)摘要 一种用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁 三位一体式装置， 包括冲 喷一体头、 旋转式支架 和提拉机构； 内部液管， 在设备内部接三通阀， 分 别为抛光液泵和去离子水泵。 光学元件抛光过程 中， 抛光液泵 开启， 冲喷一体头出抛光液， 根据泵 转速可以改变抛光液的流量， 以此满足滴液、 连 续注液、 雾化等不同出液需求； 大盘清洁过程中， 去离子水泵开启， 冲喷一体头出去离子水， 配合 装置自身和支架的旋转， 实现大盘全方位冲洗， 同时排出管路中的残留抛光液颗粒， 防止堵塞、 变质和污染。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 115431153 A 2022.12.06 CN 115431153 A 1.一种用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装置， 其特征在于， 包括冲喷 一体头(1)、 旋转式支 架(2)和提拉机构(3)； 所述的冲喷一体头(1)， 包括悬臂板(4)、 喷头中空回转台(5)、 内部液管(6)、 外部液管 (7)、 驱动电机(9)、 分液块(10)和喷头(1 1)； 所述外部液管(7)固定在所述悬臂板(4)上， 该外部液管(7)的一端经所述分液块(10) 与所述喷头(11)相连， 另一端与所述内部液管(6)的一端相连， 该内部液管(6)的另一端通 过三通阀分别连接抛光液泵和去离 子水泵； 所述悬臂板(4)在所述喷头中空回转台(5)的顶部， 该喷头中空回转台(5)与所述驱动 电机(9)相连， 进 而带动所述悬臂板(4)的旋转， 控制所述喷头(1 1)的喷淋位置； 所述的旋转式支架(2 )， 包括安装板(12 )、 支撑结构(13)、 带电机的支架中空回转台 (14)； 所述安装板(12)安装在 所述支撑结构(13)上， 该支撑结构(13)的底部与所述支架中空 回转台(14)相连， 进 而带动所述 安装板(12)的旋转； 所述提拉机构(3)， 包括气缸(15)、 立柱架(16)、 带电机的提拉中空回转台(17)、 修盘大 理石(18)、 连接 机构(19‑22)、 限位机构(23 ‑25)和法兰盘(26)； 所述气缸(15)通过所述立柱架固定在 所述安装板(12)一侧上部， 该安装板(12)同一侧 下部固定有所述提拉中空回转台(17)， 该安装板(12)的另一侧上部固定有 所述喷头中空 回 转台(5)； 所述气缸(15)的伸出杆底部通过所述连接结构与传动杆(22)的一端相连， 该传动杆 (22)的另一端贯穿所述安装板(12)和所述提拉中空 回转台(17)的轴套(27)， 并通过所述限 位机构与所述法兰盘(26)的上端面相连， 该法兰盘(26)的下端面安装有所述修盘大理石 (18) 所述传动杆(22)与所述轴套(27)配合， 使气缸(15)实现竖直方向线性移动提拉， 所述 提拉中空回转台(17)实现回转扭矩传递。 2.根据权利要求1所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装置， 其特 征在于， 所述连接结构包括气缸接头(19)、 C形卡(20)和固定销(21)； 所述气缸(15)的伸出 杆底端与所述气缸接头(19)螺纹连接， 所述C形卡(20)套设在所述气缸接头(19)的细杆上， 所述固定销(21)穿过 所述C形卡(20)和传动杆(2 2)。 3.根据权利要求1所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装置， 其特 征在于， 所述限位机构包括万向联轴器(23)、 限位筒(24)和导向限位杆(25)； 所述传动杆 (22)的底部与所述万向联轴器(23)的一端连接， 该万向联轴器(23)另一端与所述法兰盘 (26)连接， 所述限位筒(24)套在所述万向联轴器(23)外， 且端面安装于 法兰盘(26)， 所述导 向限位杆(25)贯穿所述法兰盘(26)与修盘大 理石(18)的螺纹钢套 连接， 所述的导向限位杆 (25)确保修盘大理石(18)与法兰盘(26)始终平行， 且只有万向联轴 器(23)一个铰接点， 同 时起缓冲 作用， 预防气缸 下行时的冲击 。 4.根据权利要求1所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装置， 其特 征在于， 所述传动杆(22)为方形， 所述提拉中空回转台(17)的轴套(27)具有适配的方形孔， 供所述传动杆(2 2)穿过。 5.根据权利要求1 ‑4任一所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115431153 A 2置， 其特征在于， 在所述的外 部液管(7)外还设有 多个管夹(8)， 用于防止窜动和水锤效应。 6.根据权利要求1 ‑4任一所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装 置， 其特征在于， 所述的传动杆(22)采用芯部具有强度的材料， 且表面镀硬铬， 并在热处理 后校直和修磨。 7.根据权利要求1 ‑4任一所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装 置， 其特征在于， 工作状态时， 所述气缸接头(19)和传动杆(22)之间的高度差h， 所述导向限 位杆(25)和法兰盘(26)之间的高度差L， 满足以下 条件： 其中， D为气缸(15)行程。 8.根据权利要求1 ‑4任一所述的用于光学抛光加工的修盘、 注液、 清洁三位一体式装 置， 其特征在于， 所述支撑结构(13)带有加强筋， 用于增 加强度。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115431153 A 3