(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210930574.3 (22)申请日 2022.08.04 (71)申请人 重庆臻宝实业有限公司 地址 400000 重庆市九龙坡区西彭镇森迪 大道66号附72号 (72)发明人 刘晓松　陈立航　郑宣　 (74)专利代理 机构 重庆乐泰知识产权代理事务 所(普通合伙) 50221 专利代理师 雷钞 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) F16K 15/06(2006.01) F16K 27/04(2006.01) (54)发明名称 一种微孔清洗装置 (57)摘要 本发明公开了一种微孔清洗装置， 属于精密 冲洗设备技术领域， 通过入水管连通高压水， 气 腔连通高压气， 高压气经过气腔， 并分别压缩气 销内的密封头， 使密封头移动， 密封头将遮盖的 气孔漏出， 将气体打入流经的水流中， 水流通过 螺旋状的水通道依次经过若干气销， 水流在螺旋 状的水通道内旋转， 使水流在水通道内旋转和扰 动， 使水流和气体混合更加均匀， 螺旋状的水通 道即缩短了气液混合的空间距离， 也促进水流和 气体的混合； 此清洗装置， 通过设置多段式气体 填充以及旋转式气液的接触， 保证气体充分混合 进入高压水流中， 使喷出的气液混合体更加均 匀， 对产品的微孔清洗更加均匀稳定， 避免对产 品的损坏； 并且此混合结构紧密， 不占用过大的 设备空间。 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 CN 115283334 A 2022.11.04 CN 115283334 A 1.一种微孔清洗装置， 其特征在于： 包括柱形的混合胆(1)， 所述混合胆(1)内部开设有 螺旋状的水通道(11)， 所述水通道(11)的两端分别连通入水管(2)和出水头(3)， 从所述混 合胆(1)的一侧向内开设气腔(12)， 所述气腔(12)位于所述水通道(11)的环绕中部， 所述气 腔(12)内设有一块挡板(13)， 从所述气腔(12)侧面开设若干连通至所述水通道(11)的通 孔， 所述通孔轴线垂直于所述挡板(13)， 所述通孔上固接有气销(14)， 所述气销(14)伸入 所 述水通道(11)， 所述气销(14)中空并连通至所述气腔(12)， 所述气销(14)的侧面开设气孔 (141)， 所述气孔(141)背对水流在所述水通道(11)的流通方 向， 所述挡板(13)上设有若干 单向密封阀(15)， 所述单向密封阀(15)包括支撑杆(151)、 密封头(152)、 上限位板(153)、 下 限位板(154)以及密封弹簧(155)， 所述支撑杆(151)垂直滑设在所述挡板(13)上， 所述密封 头(152)固接在所述支撑杆(151)端部， 所述密封头(152)伸入所述气销(14)， 所述上限位板 (153)固定在所述支撑杆(151)中部， 所述下限位板(154)固定在所述支撑末端， 所述密封弹 簧(155)支撑在所述挡 板(13)和所述下限位板(154)之间， 所述密封弹簧(155)支撑所述下 限位板(154)移动， 所述上限位板(153)抵在所述挡板(13)上， 使所述密封头(152)正好挡在 所述气孔(141)处， 所述气腔(12)通气， 气体推动 所述密封头(152)伸入所述气销(14)内部 底端， 此时所述气孔(141)漏处。 2.根据权利 要求1所述的微孔清洗装置， 其特征在于： 还包括若干调 节螺柱(156)， 所述 调节螺柱(156)依次螺纹穿过所述混合胆(1)外端和所述气销(14)顶端并抵在所述密封头 (152)顶部， 继续旋入所述调节螺柱(156)， 使所述调节螺柱(156)抵住所述密封头(152)移 动并挡置在所述气孔(141)位置 。 3.根据权利要求1所述的微孔清洗装置， 其特征在于： 还包括外壳(4)， 所述混合胆(1) 横向滑动设置在所述外壳(4)内部， 所述混合胆(1)一端滑动密封设有入气管(5)， 所述入气 管(5)连通于所述气腔(12)， 所述入气管(5)固定在所述外壳(4)一侧， 所述混合胆(1)另一 端与所述外壳(4)内侧之间连接有归位弹簧(6)， 所述入 水管(2)和出水头(3)分别垂直所述 混合胆(1)的侧面， 所述入水管(2)上设有转动阀门， 所述转动阀门包括圆盘状的转动把手 (21)， 所述转动把手(21)的外侧啮合在所述外壳(4)内侧， 所述入气管(5)充气， 使所述混合 胆(1)横移， 所述 转动把手(21)沿所述外壳(4)内侧移动并转动， 此时伸缩转动阀门打开。 4.根据权利要求3所述的微孔清洗装置， 其特征在于： 所述出水头(3)朝下设置， 所述外 壳(4)下部固设有挡水头(41)， 所述挡水头(41)挡置在所述混合胆(1)收回时所述出水头 (3)的出水口处。 5.根据权利要求3所述的微孔清洗装置， 其特征在于： 所述气腔(12)外端开设横截面大 于所述气腔(12)的密封槽(16)， 所述入气管(5)端部设有密封板(51)， 所述入气管(5)滑设 在所述气腔(12)内， 所述密封 板(51)滑设在所述密封 槽(16)内。 6.根据权利要求1所述的微孔清洗装置， 其特征在于： 所述通孔相对于所述挡板(13)对 称分为两列。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115283334 A 2一种微孔清洗装 置 技术领域 [0001]本发明属于精密冲洗设备技 术领域， 具体涉及一种微 孔清洗装置 。 背景技术 [0002]在CVD设备的再生过程中， 设备会浸入多种化学药液中进行制备， 因此每个制程完 成后会对产品进 行清洗以避免污染后一制程的化学药液， 而针对带孔的CVD设备， 仅进入纯 水中浸泡是无法将孔内的残留药液带出， 同时因部分带孔产品的特殊性， 使用高速高压水 流(P≥0.75Mpa)会破坏产品的表面状态， 以CVD产品中的Liner为例， 一些带孔产品的厚度 仅为0.5mm， 仅在0.6Mpa的高压水流下， 产品变形弯曲。 因此需要采用气液混合的方式喷射 水流， 来清洗产品孔内的残留药液； 一般的气液混合的清洗头仅通过在水管输出头处增加 一个入气管， 使气液混合， 由于水流速度很快， 单个气液 的混合效果并不好， 导致气液喷出 不均匀， 产品表面的微孔清洗效果不均匀， 如需沿水管增加更多的入气装置， 会导致清洗头 结构过长， 占用过 大的设备空间。 发明内容 [0003]有鉴于此， 本 发明的目的在于提供一种微孔清洗装置， 结构紧密， 能同时混合更多 气体， 并且混合效果更好。 [0004]为达到上述目的， 本发明提供如下技 术方案： [0005]本发明包括柱形的混合胆， 所述混合胆内部开设有螺旋状的水通道， 所述水通道 的两端分别连通入水管和出水头， 从所述混合胆的一侧向内开设气腔， 所述气腔位于所述 水通道的环绕中部， 所述气腔 内设有一块挡板， 从所述气腔侧 面开设若干连通至所述水通 道的通孔， 所述通孔轴线垂 直于所述挡板， 所述通孔上固接有气销， 所述气销伸入所述水通 道， 所述气销中空并连通至所述气腔， 所述气销的侧面开设气孔， 所述气孔背对 水流在所述 水通道的流通方向， 所述挡板上设有若干单向密封阀， 所述单向密封阀包括支撑杆、 密封 头、 上限位板、 下限位板以及密封弹簧， 所述支撑杆垂直滑设在所述挡板上， 所述密封头固 接在所述支撑杆端部， 所述密封头伸入 所述气销， 所述上限位板固定在所述支撑杆中部， 所 述下限位板固定在所述支撑末端， 所述密封弹簧支撑在所述挡板和所述下限位板之间， 所 述密封弹簧支撑所述下限位板移动， 所述上限位板抵在所述挡板上， 使所述密封头正好挡 在所述气孔处， 所述气腔通气， 气 体推动所述密封头伸入所述气销内部底端， 此时所述气孔 漏处。 [0006]进一步， 还包括若干调节螺柱， 所述调节螺柱依次螺纹穿过所述混合胆外端和所 述气销顶端并抵在所述密封头顶部， 继续旋入所述调节螺柱， 使所述调节螺柱抵住所述密 封头移动并挡置在所述气孔 位置。 [0007]进一步， 还包括外壳， 所述混合胆横向滑动设置在所述外壳内部， 所述混合胆一端 滑动密封 设有入气管， 所述入气管连通于所述气腔， 所述入气管固定在所述外壳一侧， 所述 混合胆另一端与所述外壳内侧之间连接有归位弹簧， 所述入水管和出水头 分别垂直所述混说　明　书 1/4 页 3 CN 115283334 A 3