(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221072993.X (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 大连地拓电子 工程技术有限公司 地址 116000 辽宁省大连市辽宁省大连高 新技术产业园区广贤路133号赛伯乐 大厦4层A434室 (72)发明人 赵小江　尤健　胡振军　 (51)Int.Cl. F16F 15/03(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)实用新型名称 一种超低频三自由度主被动防微振基座 (57)摘要 本实用新型提供了一种超低频三自由度主 被动防微振基座， 包括顶板、 支 撑板和底座， 所述 底座顶部四周连接支撑板， 所述顶板底部中间连 接有柔性铰链， 所述柔性铰链底部连接有倒置的 U型支撑框架， 所述底座底部中间连接有T型支 撑 杆， 所述T型支 撑杆顶部连接有第一弹簧， 所述第 一弹簧与U型支 撑框架底部内侧连接， 所述T型支 撑杆四周分别连接有第二弹簧， 所述第二弹簧另 一端分别 与U型支撑框架内侧壁连接， 所述U型支 撑框架四周分别安装有永磁体， 所述支撑板内壁 与永磁体平行对应位置分别安装有电磁铁。 本实 用新型结构简单， 隔振带宽， 系统固有频率能现 实小于0.5Hz， 对高频和低频干扰都具有较好的 隔振效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217207509 U 2022.08.16 CN 217207509 U 1.一种超低频三自由度主被动防微振基座， 包括顶板、 支撑板和底座， 其特征在于， 所 述底座顶部四周连接支撑板， 所述顶板底部中间连接有柔性铰链， 所述柔性铰链底部连接 有倒置的U 型支撑框架， 所述底 座底部中间连接有T 型支撑杆， 所述T 型支撑杆顶部连接有第 一弹簧， 所述第一弹簧与U型支撑框架底部内侧连接， 所述T型支撑杆四周分别连接有第二 弹簧， 所述第二弹簧另一端分别与U型支撑框架内侧壁连接， 所述U型支撑框架四周分别安 装有永磁体， 所述支撑板内壁与永磁体平行对应位置分别安装有电磁铁， 所述支撑板顶部 分别安装有第三弹簧， 所述第三弹簧顶部与顶板底部连接， 所述第三弹簧外侧并列安装有 音圈电机， 所述音圈电机顶部与顶板底部连接， 所述音圈电机底部与 支撑板顶部连接， 所述 顶板顶部还安装有速度传感器和位移传感器， 所述底座顶部还连接有控制器。 2.根据权利要求1所述的一种 超低频三自由度主被动防微振基座， 其特征在于， 所述顶 板、 底座、 支撑 板均由铝合金板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种超低频三自由度主被动防微振基座， 其特征在于， 所述U 型支撑框架、 T型支撑杆均由铝合金板制成。 4.根据权利要求1所述的一种 超低频三自由度主被动防微振基座， 其特征在于， 所述顶 板与柔性铰链之间还连接有橡胶垫 板， 所述橡胶垫 板呈方形结构。 5.根据权利要求1所述的一种 超低频三自由度主被动防微振基座， 其特征在于， 所述控 制器通过电缆与速度传感器、 位移传感器、 音圈电机、 电磁铁连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217207509 U 2一种超低频三自由度主被动防微振基座 技术领域 [0001]本实用新型涉及隔振装置技术领域， 具体是一种超低频三自由度主被动防微振基 座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振， 气动主动隔振自适应性好， 通过作动器输出反向力抵消 低频振动， 具有优越的 低频或超低频隔振性能。 精密仪器所处环境不是单一的高频振动 或低频振动， 是多种 频率 的复杂的振动环境， 而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动， 对于复杂振动环境的 隔振能力较差 。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种超低频三自由度主被动防微振基座， 以解决上述背 景技术中存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种超低频三自由度主被动防微振基座， 包括顶板、 支撑板和底座， 所述底座顶部 四周连接支撑板， 所述顶板底部中间连接有柔性铰链， 所述柔性铰链底部连接有倒置的U 型 支撑框架， 所述底座底部中间连接有T 型支撑杆， 所述T 型支撑杆顶部连接有第一 弹簧， 所述 第一弹簧与U型支撑框架底部内侧连接， 所述T型支撑杆四周分别连接有第二弹簧， 所述第 二弹簧另一端分别与U型支撑框架内侧壁连接， 所述U型支撑框架四周分别安装有永磁体， 所述支撑板内壁与永磁体平行对应位置 分别安装有电磁铁， 所述支撑板顶部分别安装有第 三弹簧， 所述第三 弹簧顶部与 顶板底部连接， 所述第三 弹簧外侧并列安装有音圈电机， 所述 音圈电机顶部与顶板底部连接， 所述音圈电机底部与支撑板顶部连接， 所述顶板顶部还安 装有速度传感器和位移传感器， 所述底座顶部还连接有控制器。 [0007]进一步地， 所述顶板、 底座、 支撑 板均由铝合金板制成矩形 结构。 [0008]进一步地， 所述U型支撑 框架、 T型支撑杆均由铝合金板制成。 [0009]进一步地， 所述顶板与柔性铰链之间还连接有橡胶垫板， 所述橡胶垫板呈方形结 构。 [0010]进一步地， 所述控制器通过电缆与速度传感器、 位移传感器、 音圈电机、 电磁铁连说　明　书 1/3 页 3 CN 217207509 U 3