(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221267085.6 (22)申请日 2022.09.01 (73)专利权人 安徽晶瑞新材 料有限公司 地址 247000 安徽省池州市江南产业 集中 区新材料产业园9号厂房 (72)发明人 光善如　程世显　熊文金　 (51)Int.Cl. B01D 47/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅片快速切割装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种单晶硅片快速切割 装置， 包括快速切割装置本体、 抽风机、 与所述抽 风机进气端连通的吸尘嘴、 集尘箱， 所述吸尘嘴 通过支撑杆安装在所述快速切割装置本体切割 台的台面上； 所述抽风机的出气端与所述集尘箱 连通， 所述集尘箱内固定连接有旋流板； 所述集 尘箱的上部连通有导气管， 所述导气管的出气 端 连通有洗尘箱， 所述洗尘箱上设置有出气管。 本 方案， 可以有效的对切割时产生的硅粉尘进行清 理， 并可以对硅粉尘进行收集， 以便于再利用， 减 少资源的浪费。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 218107162 U 2022.12.23 CN 218107162 U 1.一种单晶硅片快速切割装置， 其特 征在于， 包括 快速切割装置本体(1)、 抽风机(2)、 与所述抽风机(2)进气端连通的吸尘嘴(3)、 集尘箱 (4)， 所述吸尘嘴(3)通过支撑杆安装在所述快速切割装置 本体(1)切割台的台面上； 所述抽风机(2)的出气端与所述集尘箱(4)连通， 所述集尘箱(4)内固定连接有旋流板 (5)； 所述集尘箱(4)的上部连通有导气管(6)， 所述导气管(6)的出气端连通有洗尘箱(7)， 所述洗尘箱(7)上设置有出气管(8)。 2.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置， 其特征在于， 所述洗尘箱(7)的底 部中心位置处连通 排水管(9)， 所述 排水管(9)的出 水端螺纹安装有第一过 滤网筒(10)。 3.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置， 其特征在于， 所述集尘箱(4)的内 顶部安装有喷头(1 1)， 所述喷头(1 1)的进水端通过进水 管连通有水泵(12)。 4.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置， 其特征在于， 所述集尘箱(4)的底 部中心位置处连通有排渣管(13)， 所述 排渣管(13)的一端螺纹安装有第二过 滤网筒(14)。 5.如权利要求3所述的一种单晶硅片快速切割装置， 其特征在于， 所述水泵(12)的进水 端连通有储水箱(15)。 6.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置， 其特征在于， 所述吸尘嘴(3)设置 有不少于四个， 且所述吸尘嘴(3)位于所述快速切割装置 本体(1)的固定 工装的侧部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218107162 U 2一种单晶硅片快速切割装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域， 具体而言， 涉及一种单晶硅片快速切割 装置。 背景技术 [0002]硅的单晶体， 是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。 不 同的方向具有不同的性 质， 是一种良好的半导材 料。 用于制造半导体 器件、 太阳能电池等。 [0003]在单晶硅加工过程中， 切割是单晶硅片成型重要的一环， 但是在切割过程中， 现有 快速切割装置不能很好的对切割时产生的粉尘进行处理， 粉尘飘入到工作环境中， 易对机 器设备以及工人造成危害。 实用新型内容 [0004]本实用新型的主要目的在于提供一种单晶硅片快速切割装置， 以改善相关技术中 的问题。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型提供了一种单晶硅片快速切割装置， 包括 [0006]快速切割装置本体、 抽风机、 与所述抽风机进气端连通的吸尘嘴、 集尘箱， 所述吸 尘嘴通过支撑杆安装在所述快速切割装置 本体切割台的台面上； [0007]所述抽风机的出气端与所述 集尘箱连通， 所述 集尘箱内 固定连接有旋流板； [0008]所述集尘箱的上部连通有导气管， 所述导气管的出气端连通有洗尘箱， 所述洗尘 箱上设置有出气管。 [0009]在本实用新型的一种 实施例中， 所述洗尘箱的底部中心位置处连通排水管， 所述 排水管的出水端螺纹安装有第一过 滤网筒。 [0010]在本实用新型的一种 实施例中， 所述集尘箱的内顶部安装有喷头， 所述喷头 的进 水端通过进水 管连通有水泵。 [0011]在本实用新型的一种 实施例中， 所述集尘箱的底部中心位置处连通有排渣管， 所 述排渣管的一端螺纹安装有第二过 滤网筒。 [0012]在本实用新型的一种实施例中， 所述水泵的进水端连通有储水箱。 [0013]在本实用新型的一种 实施例中， 所述吸尘嘴设置有不少于四个， 且所述吸尘嘴位 于所述快速切割装置 本体的固定 工装的侧部 。 [0014]与现有技术相比， 本实用新型的有益效果是： 通过上述设计的单晶硅片快速切割 装置， 在快速切割装置本体对待切割的单晶硅片进 行切割时， 抽风机工作， 使吸尘嘴产生吸 力， 将切割时产生的粉尘由吸尘嘴吸入到集尘箱内， 通过旋流板的使用， 在 粉尘进入到集尘 箱内后， 向集尘箱上部上升的粉尘一部分与集尘箱碰撞掉落到集尘箱的底部， 一部分从旋 流板上的缝隙穿过， 并通过喷头的使用， 水泵将储 水箱内的水抽送至喷头， 喷头喷出的水雾 与穿过旋流板的粉尘接触后， 将部 分粉尘黏在水雾上， 掉落进集尘箱的底部， 部 分粉尘跟随 气流通过导气管进入到洗尘箱内的水中， 然后洗尘箱内的水将空气中剩余的粉尘截留在水说　明　书 1/3 页 3 CN 218107162 U 3