(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123344362.7 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 中科仪 （南 通） 半导体设备有限责 任公司 地址 226300 江苏省南 通市南通高新区双 福路西侧、 文 振路南侧 (72)发明人 王云　李鹏明　张佳崎　 (74)专利代理 机构 南通国鑫智汇知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32606 专利代理师 王薇薇 (51)Int.Cl. F04C 29/00(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种干式真空泵的清洁装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种干式真空泵的清洁 装置， 涉及干式真空泵技术领域， 包括清洁组件， 清洁组件包括第一安装板和设置于第一安装板 左侧的第二安装板， 第一安装板和第二安装板相 对侧均开设有放置槽， 放置槽内设置有连接板， 连接板的另一侧设置有多个刷毛。 在本实用新型 中， 通过增加了清洁组件， 进而可 以通过第一安 装板和第二安装板将主轴环绕住， 再通过第一安 装板和第二安装板内的刷毛对主轴进行清洁， 避 免直接通过清洁布对主轴清洁导致有些地方没 有清洁到的问题， 提高了清洁的工作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216975243 U 2022.07.15 CN 216975243 U 1.一种干式真空泵的清洁装置， 其特征在于： 包括清洁组件 （1） ， 所述清洁组件 （1） 包括 第一安装板 （11） 和设置于第一安装板 （11） 左侧的第二安装板 （12） ， 所述第一安装板 （11） 和 第二安装板 （12） 相对侧均开设有放置槽， 所述放置槽内设置有连接板 （13） ， 所述连接板 （13） 的另一侧设置有多个刷毛 （14） ， 所述第一安装板 （11） 的左侧顶部和底部均设置有插接 块 （111） ， 所述第二安装板 （12） 的右侧开设有用于配合插接块 （111） 的插接槽， 所述插接块 （111） 的顶部和底部均设置有第一卡接块 （112） ， 所述插接槽的顶部和底部设置有用于配合 第一卡接块 （112） 的第二卡接块 （121） ， 所述第一卡接块 （112） 为塑性材质， 所述第二卡接块 （121） 为硬性材质。 2.根据权利要求1所述的一种干 式真空泵的清洁装置， 其特征在于， 所述连接板 （13） 远 离刷毛 （14） 的一侧设置有多个定位块 （15） ， 所述第一安装板 （11） 和第二安装板 （12） 相对的 一侧均开设有多个配合定位块 （15） 的定位槽， 所述第一安装板 （11） 和第二安装板 （12） 与多 个定位块 （15） 之间通过螺栓连接， 所述第一安装板 （11） 和第二安装板 （12） 相背侧开设有放 置螺栓的收纳槽 。 3.根据权利要求1所述的一种干式真空泵的清洁装置， 其特征在于， 所述第一安装板 （11） 和第二 安装板 （12） 相背侧均设置有把手 （16） 。 4.根据权利要求3所述的一种干式真空泵的清洁装置， 其特征在于， 所述第一安装板 （11） 和第二 安装板 （12） 相背侧均开设有凹槽 （17） 。 5.根据权利要求1所述的一种干 式真空泵的清洁装置， 其特征在于， 所述刷毛 （14） 的外 壁套设有海绵圈。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216975243 U 2一种干式真空泵 的清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及干式真空泵技 术领域， 尤其涉及一种干式真空泵的清洁装置 。 背景技术 [0002]干式真空泵是一种能从大气压力下开始抽气， 又能将被抽气体直接排到大气中 去， 泵腔内无油或其他工作介质， 而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的 机械真空泵； 由于泵腔 内没有其他工作介质， 减少 工艺污染， 并且具有一定的耐腐蚀性， 因 此， 干式真空泵在半导体以及化工等行业中是经常用到的一种高端真空泵； 而这种真空泵 在我国目前主 要以进口为主， 价格昂贵， 维修的成本高。 [0003]真空泵主轴在装配之前需要清理， 以保证泵内清洁度， 传统的清洁方式是工人通 过清洁布直接对主轴进行清洁， 由于主轴 是圆柱体， 进而直接通过清洁布对主轴清洁导致 有些地方没有清洁到， 导致清洁不干净， 且费时费力， 降低了清洁的工作效率， 因此， 需对上 述问题进行改进处 理。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术不足的问题， 而提出的一种干式真空泵的 清洁装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种干式真空泵的清洁装置， 包括清洁组件， 所述清洁组件包括第一安装板和 设 置于第一安装板左侧的第二安装板， 所述第一安装板和第二安装板相对侧均开设有放置 槽， 所述放置槽内设置有连接板， 所述连接板的另一侧设置有多个刷毛， 所述第一安装板的 左侧顶部和底部均设置有插接块， 所述第二安装板的右侧开设有用于配合插接块的插接 槽， 所述插接块的顶部和底部均设置有第一卡接块， 所述插接槽的顶部和底部设置有用于 配合第一 卡接块的第二 卡接块， 所述第一 卡接块为塑性材质， 所述第二 卡接块为硬性材质。 [0007]进一步， 所述连接板远离刷毛的一侧 设置有多个定位块， 所述第一安装板和第二 安装板相对的一侧均开设有多个配合定位块的定位槽， 所述第一安装板和 第二安装板与多 个定位块之 间通过螺栓连接， 所述第一安装板和 第二安装板相背侧开设有放置螺栓的收纳 槽。 [0008]进一步， 所述第一 安装板和第二 安装板相背侧均设置有把手。 [0009]进一步， 所述第一 安装板和第二 安装板相背侧均开设有凹槽 。 [0010]进一步， 所述刷毛的外壁套设有海绵圈。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型 具备以下有益效果： [0012]在本实用新型中， 通过增加了清洁组件， 进而可以通过第一安装板和第二安装板 将主轴环绕住， 再通过第一安装板和第二安装板内的刷 毛对主轴进行清洁， 避免直接通过 清洁布对主轴清洁导 致有些地方没有清洁到的问题， 提高了清洁的工作效率。说　明　书 1/3 页 3 CN 216975243 U 3