(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222295994.7 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 安徽富乐德科技发展股份有限公 司 地址 244000 安徽省铜陵市金桥经济开发 区 (72)发明人 王圣福　贺贤汉　张正伟　李帅雨　 刘宇航　 (74)专利代理 机构 铜陵市天 成专利事务所(普 通合伙) 3410 5 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. B62B 3/00(2006.01) B62B 5/00(2006.01) F16F 15/03(2006.01)F16F 15/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种OLED掩膜版Open Mask 转运装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open   Mask转运装置， 涉及到掩膜版转运技术领域， 包 括小推车， 所述小推车上安装有用于排列放置金 属掩膜版的承 载箱， 还包括用于对 所述承载箱进 行支撑和缓冲减震的磁悬浮单元， 所述磁悬浮单 元包括固定连接在所述小推车上的若干个安装 架和一端与所述承载箱外壁固定连接的安装 杆， 且每个所述安装架上均固定连接有轴承座， 所述 轴承座内安装有磁悬浮轴承， 所述安装 杆的另一 端延伸至 所述磁悬浮轴承的内腔， 所述安装 杆上 固定套接有限制所述安装 杆横向移动的限位板。 本实用新型结构合理， 通过磁悬浮轴承使得承 载 箱进行整体悬空设置， 提高承 载箱的碰撞缓冲效 果， 提高其稳定性， 可有效防止掩膜版被磕坏。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 218021675 U 2022.12.13 CN 218021675 U 1.一种OLED掩膜版Op en Mask转运装置， 包括小推车 （1） ， 所述小推车 （1） 上安装有用于 排列放置金属掩膜版的承载箱 （2） ， 其特征在于： 还包括用于对所述承载箱 （2） 进行支撑和 缓冲减震的磁悬浮单元 （3） ， 所述磁悬浮单元 （3） 包括固定连接在所述小推车 （1） 上的若干 个安装架 （33） 和一端与所述承载箱 （2） 外壁固定连接的安装杆 （36） ， 且每个所述安装架 （33） 上均固定连接有轴承座 （31） ， 所述轴承座 （31） 内安装有磁悬浮轴承 （32） ， 所述安装杆 （36） 的另一端延伸至所述磁悬浮轴承 （32） 的内腔， 所述安装杆 （36） 上固定套接有限制所述 安装杆 （36） 横向移动的限位板 （35） ， 且所述限位板 （35） 靠近所述磁悬浮轴承 （32） 的端面上 固定连接有弹性缓冲垫 （34） ， 所述小推车 （1） 的上端安装有电源 （4） ， 且所述电源 （4） 和若干 个所述磁悬浮轴承 （32） 均 与所述小推车 （1） 推杆 上安装的控制键 （5） 电性连接 。 2.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 其特征在于： 所述轴承 座 （31） 和限位板 （3 5） 均为隔磁件， 所述轴承座 （31） 的左端固定连接有隔磁板 （6） 。 3.根据权利要求1或2所述的一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 其特征在于： 所述承 载箱 （2） 包括外壁与所述安装杆 （36） 一端固定连接的限位箱 （22） 和下端位于所述限位箱 （22） 内腔的承重箱 （21） ， 所述承重箱 （21） 的内腔安装有若干个隔板， 相邻所述隔板之间形 成放置腔 （23） ， 所述限位箱 （22） 的内腔固定连接有若干个支撑弹簧 （24） ， 且若干个所述支 撑弹簧 （24） 的上端与所述承重箱 （21） 的下端接触， 所述限位箱 （22） 的内腔底部固定连接有 与所述电源 （4） 电性连接的变压器 （25） ， 且所述变压器 （25） 的调压旋钮上开设有弧形槽 （26） ， 且所述弧形槽 （26） 滑动连接有L形杆 （27） ， 且所述L形杆 （27） 的上端与所述承重箱 （21） 的下端固定连接 。 4.根据权利要求3所述的一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 其特征在于： 所述承重 箱 （21） 的底部固定连接有若干支撑柱 （8） 且 所述支撑柱 （8） 的下端位于所述L形杆 （27） 的下 方。 5.根据权利要求4所述的一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 其特征在于： 所述承重 箱 （21） 两相对端呈对称固定连接有把手 （7） 。 6.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 其特征在于： 所述弹性 缓冲垫 （34） 靠 近所述磁悬浮轴承 （32） 的端面上设置有弹性耐磨涂层。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218021675 U 2一种OLED掩膜版O pen Mask转运装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及掩膜版转运技术领域， 特别涉及一种OLED掩膜版Open  Mask转运 装置。 背景技术 [0002]OLED显示技术作为国际上一种新型的且蓬勃发展的显示技术， 尤其是在OLED 面板 生产过程中的真空蒸镀工艺， 是整个OLED工艺制程中的核心和目前的技术发展瓶颈所在。 在OLED真空蒸镀工艺中， 一般 分为有机材料、 金属材料和无机化合物材料的蒸镀， 其中OLED 蒸镀掩膜版是该制程的关键治具， 该掩膜版用于控制有机材料沉积在玻璃基板上 的位置， 从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案， 用于限定蒸镀范围， 长时间使用后掩膜版 Open Mask表面会沉积一层镀膜， 达到一定厚度后会有脱落风险， 从而影响OLED蒸镀的质 量， 需要定期利用溶剂对掩膜版进行清洗以溶解去除其上镀膜， 再利用纯水或离子水清洗 去除掩膜版 上的溶剂， 最后利用烘干箱将掩膜版烘干 。 [0003]现有的掩膜版在进行清洗工艺过程中会用到转运车， 用于转运掩膜版， 而现有的 掩膜版转运车 由于缺少缓冲结构， 导致掩膜版在运输过程中容易因受到较大冲击被磕坏， 因此， 本申请提供了一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置来满足需求。 实用新型内容 [0004]本申请的目的在于提供一种OLED掩膜版Open  Mask转运装置， 控制电源向磁悬浮 轴承产生磁场使得金属材料制成的安装杆悬空设置， 通过四个安装杆维持承载箱的平衡， 进而使得承载箱进行整体悬空设置， 当小推车在运行过程中产生震动时， 由于安装杆悬空 设置， 使得其只受到轴承座与安装杆轴向一致的碰撞力的作用， 而此碰撞力通过弹性缓冲 垫进行缓冲， 从而使得实际传动到承载箱上 的碰撞力很小， 进而提高承载箱的碰撞缓冲效 果， 提高其稳定性， 可有效防止掩膜版被磕坏。 [0005]为实现上述目的， 本申请提供如下技术方案： 一种OLED掩膜版Open  Mask转运装 置， 包括小推车， 所述小推车上安装有用于排列放置金属掩膜版的承载箱， 还包括用于对所 述承载箱进行支撑和缓冲减震的磁悬浮单元， 所述磁悬浮单元包括固定连接在所述小推车 上的若干个安装架和一端与所述承载箱外壁固定连接的安装杆， 且每个所述安装架上均固 定连接有轴承座， 所述轴承座内安装有磁悬浮轴承， 所述安装杆 的另一端延伸至所述磁悬 浮轴承的内腔， 所述安装杆上固定套接有限制所述安装杆横向移动的限位板， 且所述限位 板靠近所述磁悬浮轴承的端面上固定连接有弹性缓冲垫， 所述小推车 的上端安装有电源， 且所述电源和若干个所述磁悬浮轴承均 与所述小推车推杆 上安装的控制键电性连接 。 [0006]优选的， 所述轴承座和限位板均为隔磁件， 所述轴承座的左端固定连接有隔磁板 。 [0007]优选的， 所述承载箱包括外壁与所述安装杆一端固定连接的限位箱和下端位于所 述限位箱内腔的承重箱， 所述承重箱的内腔安装有若干个隔板， 相邻所述隔板之间形成放 置腔， 所述限位箱的内腔 固定连接有若干个支撑弹簧， 且若干个所述支撑弹簧的上端与所说　明　书 1/4 页 3 CN 218021675 U 3