(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222171981.9 (22)申请日 2022.08.17 (73)专利权人 重庆金美新材 料科技有限公司 地址 401420 重庆市綦江区古南 街道桥河 工业园区金福二路12号 (72)发明人 臧世伟　 (74)专利代理 机构 北京卓岚智财知识产权代理 有限公司 1 1624 专利代理师 沈煜华 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01B 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于薄膜检测的薄膜固定机构和薄膜 致密性检测装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种用 于薄膜检测的薄 膜固定机构和薄膜致密性检测装置， 该薄膜固定 机构包括： 固定座， 该固定座上部设置有凹槽， 在 固定座的底部设置有第一通孔， 第一通孔与凹槽 连通， 待测薄膜设置于凹槽内并位于第一通孔的 上方； 压板， 该压板上设置有第二通孔， 第二通孔 的位置与第一通孔的位置相对应， 压板用于固定 待测薄膜。 本实用新型实施例提供的薄膜致密性 检测装置， 通过将薄膜放置在薄膜固定机构的凹 槽内， 并通过压板进行按压， 不仅可以使得检测 过程中薄膜保持平整， 还可以避免在检测过程中 薄膜发生移动。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 218121801 U 2022.12.23 CN 218121801 U 1.一种用于薄膜检测的薄膜固定 机构， 其特 征在于， 所述薄膜固定 机构包括： 固定座(1)， 所述固定座(1)上部设置有凹槽(11)， 在 所述固定座(1)的底部设置有第一 通孔(12)， 所述第一通孔(12)与所述凹槽(11)连通， 待测薄膜(3)设置于所述凹槽(11)内并 位于所述第一 通孔(12)的上 方； 压板(2)， 所述压板(2)上设置有第二通孔(21)， 所述第二通孔(21)的位置与所述第一 通孔(12)的位置相对应， 所述压 板(2)用于固定所述待测薄膜(3)。 2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述压板 (2)的尺寸与所述凹槽(1 1)的尺寸匹配。 3.根据权利要求1所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述压板 (2)的上方还设置有把手(22)， 通过所述把手(22)将所述压板(2)放置在所述待测薄膜(3) 的上方。 4.根据权利要求1所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述固定座 (1)的侧面设置有条 形孔(13)， 所述条 形孔(13)与所述凹槽(1 1)连通； 所述压板(2)为阶梯 形状， 所述压板(2)通过所述条形孔(13)将带有所述第二通孔(2 1) 的一部分设置在所述凹槽(11)内， 所述压板(2)上不带有所述第二通孔(21)的一部分设置 在所述条 形孔(13)处； 所述压板(2)上不带有所述第二通孔(2 1)的一部分高于带有所述第二通孔(2 1)的一部 分。 5.根据权利要求4所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述压板 (2)上不带有所述第二 通孔(21)的一部分的侧面设置有把手(2 2)。 6.根据权利要求4所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述条形孔 (13)的尺寸大于等于所述压 板(2)的尺寸。 7.根据权利要求4所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述压板 (2)中带有所述第二 通孔(21)的一部分的尺寸与所述凹槽(1 1)的尺寸匹配。 8.根据权利要求7所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述固定座 (1)为矩形块， 所述凹槽(1 1)的形状为圆形或方 形。 9.根据权利要求8所述的一种用于薄膜检测的薄膜固定机构， 其特征在于， 所述第 一通 孔(12)的尺寸小于所述凹槽(1 1)的尺寸； 所述第二 通孔(21)的尺寸小于所述第一 通孔(12)的尺寸。 10.一种用于薄膜致密性检测装置， 其特征在于， 其包括权利要求1 ‑9任意一项所述的 一种用于薄膜检测的薄膜固定 机构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218121801 U 2一种用于薄膜检测的薄膜固定机构和薄膜致密性检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及薄膜致密性检测技术领域， 具体涉及一种用于薄膜检测的薄膜固 定机构和薄膜致密性检测装置 。 背景技术 [0002]现有技术中， 在检测薄膜的致密性时， 往往是直接将薄膜其放在平台上， 平台下有 发射光源， 光源照射透过薄膜后， 在薄膜上方有显微镜接 收装置。 如果薄膜上有孔， 则将孔 成像至显微镜， 并计算得到孔的尺寸。 只有尺寸在一定的范围内， 薄膜才是合格的产品。 [0003]但是， 采用目前的测试方式， 薄膜放在平台上后， 不仅薄膜不太平整， 而且容易发 生小范围移动， 影响薄膜检测结果。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 本实用新型实施例的目的在于提供一种用于薄膜检测的薄膜固定机构 和薄膜致密性检测装置， 以解决现有技术中直接将薄膜防止在平台上导致的薄膜不平整以 及发生移动的技 术问题。 [0005]为达上述目的， 本实用新型实施例提供了第一方面， 本实用新型实施例提供了一 种用于薄膜检测的薄膜固定 机构， 所述薄膜固定 机构包括： [0006]固定座， 所述固定座上部设置有凹槽， 在所述固定座的底部设置有第一通孔， 所述 第一通孔与所述凹槽连通， 待测薄膜设置 于所述凹槽内并位于所述第一 通孔的上方； [0007]压板， 所述压板上设置有第二通孔， 所述第二通孔的位置与所述第一通孔的位置 相对应， 所述压 板用于固定所述待测薄膜。 [0008]在一些可能的实施方式 中， 所述压 板的尺寸与所述凹槽的尺寸匹配。 [0009]在一些可能的实施方式中， 所述压板 的上方还设置有把手， 通过所述把手将所述 压板放置在所述待测薄膜的上 方。 [0010]在一些可能的实施方式中， 所述固定座的侧面设置有条形孔， 所述条形孔与所述 凹槽连通， 所述压板为阶梯形状， 所述压板通过所述条形孔将带有所述第二通孔的一部分 设置在所述凹槽内， 所述压 板上不带有所述第二 通孔的一部分 设置在所述条 形孔处； [0011]所述压板上不带有所述第二 通孔的一部分高于带有所述第二 通孔的一部分。 [0012]在一些可能的实施方式中， 所述压板上不带有所述第二通孔的一部分的侧面设置 有把手。 [0013]在一些可能的实施方式中， 所述条形孔的宽度和厚度大于等于所述压板的宽度和 厚度。 [0014]在一些可能的实施方式中， 所述压板中带有所述第二通孔的一部分的尺寸与所述 凹槽的尺寸匹配。 [0015]在一些可能的实施方式 中， 所述固定座 为矩形块， 所述凹槽的形状为圆形或方 形。 [0016]在一些可能的实施方式 中， 所述第一 通孔的尺寸小于所述凹槽的尺寸；说　明　书 1/4 页 3 CN 218121801 U 3