(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222191565.5 (22)申请日 2022.08.19 (73)专利权人 江苏三米科思半导体设备有限公 司 地址 213000 江苏省常州市天宁区常州检 验检测产业园5号楼101室 (72)发明人 沈明　 (74)专利代理 机构 常州市科佑新创专利代理有 限公司 32672 专利代理师 汤勇 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 用于光学镜片的位置调节机构及装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种用 于光学镜片的位 置调节机构及装置， 其中， 用于光学镜片 的位置 调节机构 包括： 支座、 中空电动旋转台、 固定板以 及过渡板； 所述中空电动旋转台固定设置在所述 固定板上； 所述固定板设置在所述过渡板上； 所 述过渡板设置在所述支座上； 所述中空电动旋转 台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调 节。 通过中空电动旋转台调整光学镜片， 可以保 证通光孔径， 不遮挡光线， 中空电动旋转台具有 极高的定位精度， 从而可以确保光学镜片在光路 中的位置满足精度需求。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 217931442 U 2022.11.29 CN 217931442 U 1.一种用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 包括： 支座、 中空电动旋转台、 固定 板以及过渡板； 所述中空电动旋转台 固定设置在所述固定 板上； 所述固定 板设置在所述过渡板上； 所述过渡板设置在所述支座上； 所述中空电动旋转台适于将光学镜片进行固定并进行旋转角度调节。 2.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述中空电动旋转台包括： 箱体、 交叉滚子轴承、 外齿圈以及输出轴； 所述箱体开设有适于所述交叉滚子轴承安装的安装腔； 所述外齿圈套设在所述交叉滚子轴承外 部； 所述输出轴插 入所述箱体内， 且与所述外齿圈啮合； 所述输出轴适于在转动时， 带动所述外齿圈转动， 从而带动所述交叉滚子轴承转动； 所述交叉滚子轴承适于带动固定在所述交叉滚子轴承上的光学镜片转动。 3.如权利要求2所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述中空电动旋转台还 包括减速 机； 所述减速 机固定设置在所述箱体上， 且适于带动所述输出轴发生 转动。 4.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述用于光学镜片的位置调节机构还 包括第一螺纹副以及两个第一弹性固定件； 所述固定 板的左右两侧分别通过 所述第一弹性固定件与所述过渡板连接； 所述固定 板通过所述第一螺纹副与所述过渡板连接； 所述第一螺纹副适于在旋转时， 调整所述固定板在第一方向上的角度， 从而调整光学 镜片在第一方向上的偏摆角度。 5.如权利要求 4所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述第一螺纹副的螺距小于 0.25mm。 6.如权利要求 4所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述第一弹性固定件的截面 为工字型。 7.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述用于光学镜片的位置调节机构还 包括第二精密螺纹副以及两个第二弹性固定件； 所述过渡板的上 下两侧分别通过 所述第二弹性固定件与所述支座连接； 所述过渡板通过 所述第二精密螺纹副与所述支座连接； 所述第二精密螺纹副适于在旋转时， 调整所述过渡板在第二方向上的角度， 从而调节 光学晶片在第二方向上的偏摆角度。 8.如权利要求7 所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述第二弹性固定件的截面 为工字型。 9.如权利要求1所述的用于光学镜片的位置调节机构， 其特 征在于， 所述用于光学镜片的位置调节机构还 包括拉簧； 所述支座以及所述固定 板上开设有适于将拉簧进行固定的支 柱。 10.一种用于光学镜片的位置调节装置， 其特征在于， 所述装置包括如权利要求1 ‑9任 一项所述的用于光学镜片的位置调节机构；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217931442 U 2所述用于光学镜片的位置调节机构适于调节光学镜片在检测光路中的位置 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217931442 U 3